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激光玻璃焊接設備
- 制造商:
- 設備應用：生物，LED,MEMS等。
- 產(chǎn)品描述：
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品特點：
- 極其微小的熱影響區(qū)(HAZ)。
- 很好的焊縫力學性能。
- 氣密封裝敏感元件。
- 不需要粘合材料。
焊接技術在材料界面完成，焊接過程中不破壞表面或透明層。
Welding of glass on silicon
Welding of glass on glass
產(chǎn)品規(guī)格：
|
最大晶圓尺寸 外形尺寸 |
300mm (bigger on request) 1600(l) x 900(w) x 2100(h) |
| X-軸 | |
| 加工范圍 | 1000 mm2 |
| 最大加工速度 | 500 mm/s |
| Y-軸 | |
| 加工范圍 | 300 mm |
| Resolution | 0.0001 mm |
| Repeatability | +- 0.001 mm |
| Z-軸 | |
| 加工范圍 | 150 mm |
| Resolution | 0.00001 mm |
| Repeatability** with auto-focus system | +- 0.003 mm |
| C-軸 | |
| 加工范圍 | Unlimited |
| Resolution | 1,24 arc |
| Repeatability | 2,5 arc |
| 控制方式 |
19″ touchscreen with easy to use software, same user-interface for all (machine, laser and camera) |
選項
- Integration to production systems
- Vision system for alignment and for viewing
- Full remote access for service and assistance via secure remote connection
上一個：玻璃微流控芯片&反應器
下一個：晶圓級封裝（室溫）
GINKOOMEMS