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激光玻璃焊接設備
- 制造商:
- 設備應用:生物,LED,MEMS等。
- 產(chǎn)品描述:
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品特點:
- 極其微小的熱影響區(qū)(HAZ)。
- 很好的焊縫力學性能。
- 氣密封裝敏感元件。
- 不需要粘合材料。
焊接技術在材料界面完成,焊接過程中不破壞表面或透明層。
Welding of glass on silicon
Welding of glass on glass
產(chǎn)品規(guī)格:
最大晶圓尺寸 外形尺寸 |
300mm (bigger on request) 1600(l) x 900(w) x 2100(h) |
X-軸 | |
加工范圍 | 1000 mm2 |
最大加工速度 | 500 mm/s |
Y-軸 | |
加工范圍 | 300 mm |
Resolution | 0.0001 mm |
Repeatability | +- 0.001 mm |
Z-軸 | |
加工范圍 | 150 mm |
Resolution | 0.00001 mm |
Repeatability** with auto-focus system | +- 0.003 mm |
C-軸 | |
加工范圍 | Unlimited |
Resolution | 1,24 arc |
Repeatability | 2,5 arc |
控制方式 |
19″ touchscreen with easy to use software, same user-interface for all (machine, laser and camera) |
選項
- Integration to production systems
- Vision system for alignment and for viewing
- Full remote access for service and assistance via secure remote connection
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