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熔融石英晶圓基片
- 生產(chǎn)商:SemiOptics
- 晶圓大?。?”6”8”12”
- 厚度:100um-1mm
- 產(chǎn)品描述:用高純度氫氧熔化合成制造的紫外級(jí)等級(jí)熔融石英,為高純度的 非晶硅氧化硅, OH含量相當(dāng)高,它在紫外線光,具有優(yōu)良的透紫 外性能,特別是在短波紫外區(qū),其透過性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)地勝過所有其他光 學(xué)玻璃,另外在可見光,與近紅外線光的波長(zhǎng)區(qū)提供相當(dāng)好的穿透 性,熱膨脹系數(shù)同時(shí)也非常低.
產(chǎn)品介紹
晶圓尺寸:
4” = Dia. 100mm +/- 0.2mm。
6” = Dia. 150mm +/- 0.2mm。
8” = Dia. 199.7mm 或 Dia. 200mm +/- 0.2mm。
12” = Dia. 300mm +/- 0.2mm 或 +/- 0.05mm。
晶圓厚度:
200 +/- 25um
300 +/- 25um
400 +/- 10um
500 +/- 10um
700 +/- 25um
TTV :< 15um
Notch 或平邊:按 SEMI standard 加工
可客制化加工:方形或異性。